揮軍電子束檢測，愛德萬微影系統獲3筆訂單挹注

精實新聞 2013-10-22 記者 羅毓嘉 報導

IC量測設備大廠愛德萬測試(Advantest,NYSE: ATE)看準半導體製程節點演進，設備業技術亦需不斷進步，積極開拓最先進的電子束(E-Beam)檢測設備市場。愛德萬測試指出，F7000電子束微影檢測系統已獲得3筆來自產、學界的訂單，預定於明年3月底本會計年度(2013財年)結束前陸續完成交貨。

愛德萬指出，公司新開發的F7000電子束微影系統所獲得的3筆訂單，分別來自東京大學、京都大學等日本高等學府，以及1家半導體廠客戶。

愛德萬說明，F7000系列利用電子束技術，將精細的接腳間距圖樣直接寫入基板，可為目前半導體產業研發所關注的1x奈米製程提供最高的測試產能；這套系統同時具備自動清洗與調整器功能，前者可確保設備長期穩定運作效能，後者則支援不同尺寸、形狀、材料的基板測試。 

愛德萬指出，這3家F7000系列客戶除將此系統應用於半導體晶圓和其他類型與尺寸的基板研究範疇外，還將其運用於MEMS/NEMS (非機電系統)、生物晶片、創新元件、電子零組件等領域的技術開發。

愛德萬強調，這3筆訂單意義深遠，堪稱愛德萬測試跨入新市場，運用先進電子束微影製造技術開創下一代電子元件研究發展的規則性成長里程碑，同時更意味著半導體製造設備產業製造技術不斷進步，與愛德萬積極開拓新市場的決心。