中國第一條8吋「超越摩爾」研發中試線通線成功

上海微技術工業研究院今 (1) 日表示，8 吋「超越摩爾」 研發中試線首款傳感器 (感測器) 產品近日獲得驗證通過，正式宣告研發中試線通線成功。

該研發中試線著重開展表面矽、體矽、3D 微納加工工藝的開發，並根據 “ 「超越摩爾」 產品和技術特點部署 MEMS、矽光子、射頻、矽基 III-V 族（第三代半導體）、3D 集成、MR 磁、功率及生物等相關工藝和量測設備，提供全方位的產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務。

上海微技術工業研究院總裁楊瀟表示，這次的通線成功表示中國在 MEMS 及先進傳感器的研發和產業化進入一個全新的快速發展的階段；未來，研發中試線將持續發力，在新材料、新工藝、新器件、新系統重點技術領域開展研發，進一步推動 「超越摩爾」 產業鏈的完善和物聯網創新應用發展。

超越摩爾即新摩爾定律（more than moore）， 以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現萬物互聯的基礎。超越摩爾是在半導體技術延續摩爾定律發展的同時，利用成熟製程，結合微機電技術（MEMS）、光電技術等開闢一條新的半導體發展路徑。

作為創新型功能平台， 上海微技術工業研究院立足國內積體電路研發和產業基地上海嘉定，構建了中國國內首條、兼容 CMOS 的 8 吋研發中試線，旨在進一步推動中國 「超越摩爾」 技術和物聯網創新應用快速發展，完善中國超越摩爾產業生態鏈布局，助力創新研發。