〈分析〉半導體材料界今年大事多：Entegris要搶車用晶片晶圓廠升級工程

半導體材料巨頭英特格 (Entergris) 今年以來動態引發關注，除了在併購市場上動作頻頻、與家登精密的專利訴訟獲勝，未來也可能搶食車用晶片晶圓廠升級工程，進一步影響當前業界生態。

Entegris 成立於 1966 年，總部位於美國麻塞諸塞州，全球員工 4100 名，2017 年營收為 13.4 億美元，2018 年營收成長至 16 億美元，其中邏輯制程相關業務占 67%、DRAM 占 12% 、NAND 占 21%，目前在污染物控制、關鍵材料處理、先進制程材料等領域都處於行業領導地位。

併購、專利訴訟案引關注

Entegris 近來積極拓展，除了加大在中國的半導體廠投資之外，1 月底傳出與 Versum Materials 合併，合併後 Entegris 占五席董事、Versum 占四席董事，Versum 主要業務是生產半導體的化學、氣體及輸送系統，兩家公司的前三大客戶均為台積電、英特爾、三星電子。

不過，Entegris 和 Versum 合併的消息揭露後，又傳出德國默克 Merck 出手高價搶親，向 Versum 提出 59 億美元的現金收購要約，讓半導體材料市場的熱度大幅升高。

此外，Entegris 與台灣家登精密的專利訴訟，台灣智慧財產法院一審判決，家登須支付 Entegris 新台幣 9.8 億元賠償金。

分析指出，在這個 Reticle SMIF Pod 光罩傳送盒專利訴訟案背後，隱含 ASML 大廠 EUV 晶圓傳輸盒的市場動態和競爭商機。隨著 EUV 技術開始導入半導體大廠 7 奈米工藝，目前全球僅 Entegris 和家登二兩家供應商可以供給 ASML 有關 EUV 晶圓傳輸盒這樣產品，這項專利侵權的判定，未來將牽動此一市場變化。

汽車電子成未來半導體業競爭重點

Entegris 近期還將眼光放向汽車電子。Entegris 市場戰略副總裁楊文革表示，未來驅動半導體行業快速發展的兩大應用是工業和汽車，在汽車半導體方面，無論是自動駕駛、電動車都需要大量半導體器件，回想 4、5 年前，一台汽車只需要幾百顆晶片，現在高端汽車已經內涵 5000 顆晶片，預計 10 年後的全自動駕駛時代，一台汽車當中的半導體元件約占成本 50%。

而汽車半導體的關鍵，不在於電晶體尺寸的縮小，而在於極度嚴格控制材料的純度和制程的污染雜質，提升晶片產品的品質及良率。

楊文革表示，半導體制程純度至關重要，純度的控制可能提高器件性能、降低功耗、提升晶片良率和可靠度。

此外，根據計算，每提升 1% 良率，對於邏輯晶圓廠可以增加 1.5 億美元的淨利潤，對於 3D NAND 晶圓廠則可增加 1.1 億美元的淨利潤。

Entegris 投入晶圓廠升級工程

關鍵在於，現在許多汽車晶片的晶圓廠都已老舊，defect control 的標準都處於 10 年、20 年前的水準，即使以嚴格的標準來解決 defect 問題，也無法把問題全數找出來，因此，很多晶圓廠必須快速執行 defect control 升級工程。

針對於此，許多新晶圓廠正準備投產搶食。根據國際半導體協會 SEMI 統計，2017 年到 2020 年將有 26 座新晶圓廠投產，其中將近一半為中國晶圓廠。國際市調機構 IC Insights 統計也指出，2019 年全球將有 9 座 12 寸晶圓廠啟動，其中 5 座是中國晶圓廠。

Entegris 也未缺席，為了掌握半導體大量蓋新廠的商機，他們正積極執行當地語系化策略，包括在上海建立首座技術中心，預計年中投入使用。