脫離日本擺佈？傳三星電子在部分半導體製程改用南韓國產氟化氫

《韓聯社》日文電子版在 3 日的報導中指出，有南韓三星電子的相關人士透露，該公司已經在半導體的部分製程當中，採用南韓國產的氟化氫原料，來取代日本的進口品。計畫先從對於氟化氫純度等要求較低的製程開始展開，再逐漸的擴大使用範圍。

業界人士表示，在這回所使用的氟化氫當中，似乎有南韓企業所生產的產品包含在內。

日本自今年 7 月 4 日開始，對出口到南韓的氟化氫、光阻劑、氟化聚醯亞胺，這 3 種在半導體及面板等製造所需的關鍵化學品，實施了嚴格的出口管制措施。

三星電子在日本的管制措施一上路後，為了尋求日本製氟化氫的替代品，不斷的對南韓國內外的產品進行測試，然而業界認為替代品要用於製程上需花費 3~6 月的時間。

在另一方面，南韓半導體大廠的 SK 海力士正在進行替代品的測試，而面板大廠的 LG 顯示 (LG Display) 更已開始使用南韓國產的氟化氫原料。據悉，三星顯示 (Samsung Display) 也即將在近日內結束替代原料的測試過程。

日前《朝鮮日報》日文電子版在 8 月 30 日的報導中指出，南韓產業通商資源部在 8 月 29 日時表示，日本經濟產業省已對一件氟化氫的出口申請發出許可，而這批氟化氫則是出口到南韓三星電子。

氟化氫不僅是半導體在製作複雜積體電路的，蝕刻製程中所使用的關鍵原料，也被用於半導體的清洗製程。在半導體製造超過 500 道的製程中，約有 50 道製程需要使用氟化氫。

在純度高達 99.999% 以上的氟化氫方面，目前日本的森田化學工業及 Stella Chemifa(4109-JP) 等，在全球市占更超過 7 成以上。