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〈台積電ESG〉晶圓傳送盒清洗機台 達100%回收熱水再利用

鉅亨網記者林薏茹 台北 2022-10-31 16:09

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台積電晶圓傳送盒清洗機台 達100%回收熱水再利用。(圖:台積電ESG官網)

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 以創新技術打造「熱水回收循環系統」,將機台中未使用的熱水導回熱水器循環利用,成功達成晶圓傳送盒清洗機台未運作時熱水 100% 回收,今年通過驗證、已於第三季導入晶圓十二 B 廠,並列為未來新購機種標準設計。

熱水回收循環系統已列為台積電 12 吋晶圓廠區未來新購晶圓傳送盒清洗機台的標準配備,目標至 2030 年,可年省 140 萬公噸純水及 1.1 億度電。

台積電表示,面對日益嚴峻的極端氣候,公司積極創造更多節水省電機會點,去年針對晶圓傳送盒清洗機台研發漸進式開關水閥,藉由自動控制熱水輸出多寡,於機台未運作時減少 50% 供水量,達到年省 38 萬公噸純水與 1,533 萬度電。

為更優化熱水使用效率,智能工程中心、晶圓十二 B 廠與供應商持續深入分析機台能耗及運轉參數,進一步設計熱水封閉迴路,透過加裝泵浦與冷熱水自動控制切換閥門,在確保水溫穩定的前提下,利用泵浦將機台未運作時的熱水全部導回熱水器繼續使用,達到 100% 回收效益。

秉持機台節能最大化原則,台積電也持續評估改造晶圓傳送盒清洗機台腔體與噴嘴設計,以降低乾燥氣體使用量,同時開發腔體未運作期間的節能模式,預計明年第一季進行驗證,朝每台晶圓傳送盒清洗機台節能 30% 目標前進。
 






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