英國大學開發新MicroLED巨量轉移技術 單次可轉移7.5萬顆晶粒

英國斯特拉思克萊德大學近期宣布開發 MicroLED 新型巨量轉移技術，透過連續滾輪轉移技術，可精準轉移超 7.5 萬顆 MicroLED，團隊也對轉移數量、良率開發自動量測系統。

團隊指出，滾輪轉移製程可實現 MicroLED 的巨量移轉，一次轉移中可轉移一個 320x240 畫素陣列，約 7.5 萬顆以上的 MicroLED，相對位置精度達亞微米級 (Submicron)，且能夠保持畫素陣列的幾何結構，定位誤差、設計偏差控制 1μm 以下。

另外，團隊還採用簡單光學顯微鏡的自動亞微米級精準計量系統，用來評估大規模數量的零件，同時還可以評估良率。

除了 MicroLED 巨量轉移，該製程還可用於其他類型的設備，包括矽製程、PCB，同時也可在太陽能設備製造、藥物輸送系統、生物感測器和組織工程等生物醫學應用中採用。