美懷疑最頂尖EUV流入中國 ASML傳私下開啟「危機應對模式」

荷蘭半導體設備巨頭艾司摩爾（ASML）面臨川普政府上台以來最大的挑戰。在近期一連串的會議中，美國商務部長盧特尼克向 ASML 高層表達關切，指出該公司旗下最頂尖的設備之一可能已流入中國，這違反了由美國主導的出口管制禁令。

彭博引述消息人士報導，盧特尼克在會議中向 ASML 高層表示，美方十分關切其極紫外光（EUV）微影設備的流向。

EUV 系統是台積電 (2330-TW) 等晶圓代工大廠用來為輝達 (NVDA-US) 和蘋果 (AAPL-US) （Apple）等客戶生產頂級處理器的關鍵設備。自第一任川普政府時期實施出口限制以來，ASML 就從未被允許將 EUV 設備出貨至中國。

消息人士稱，ASML 極力駁斥盧特尼克的質疑，並解釋，這些設備體積相當於一輛黃色校車、產量極為有限，且需要 ASML 技術人員進行不間斷的維護，因此不可能有任何一台在中國境內。

ASML 發言人在被問及相關會議時表示，公司定期與各國政府進行對話，且從未向中國出貨任何 EUV 設備。

目前尚不清楚川普政府究竟希望 ASML 如何配合，這也讓 ASML 陷入了必須「證明不存在之事（prove a negative）」的自證清白窘境；同樣地，外界也無法得知該設備製造商究竟要提供何種資訊，才能平息這場關於中國 EUV 設備的爭議。

美國商務部對此事的多次詢問均未予回應，包括該部門是否掌握任何能證實中國確實存有 EUV 設備的具體證據。

多名不具名美國政府高層官員則表示，他們掌握的資訊顯示 ASML 並未完全善意配合，例如曾向中國出口與 EUV 設備相關的特定零組件。不過，ASML 已向彭博否認這項指控。

這些美方官員未對盧特尼克與 ASML 的會面發表評論，也拒絕透露是否掌握了在中國境內發現完整 EUV 系統的證據。

來自川普政府高層（包括內閣官員）的持續疑慮，無疑加劇了這家歐洲市值最高企業的壓力。此前，美國官員就曾指控該公司的業務活動，損及美國的國家安全與科技政策。

若 ASML 遲遲無法消除華府的疑慮，此一局面恐將進一步使美歐之間本已緊張的關係更加緊繃。

ASML 發言人表示，公司持續與全球各國政府領袖保持透明且開放的對話，並理解美國與荷蘭出口管制法規背後的國安考量，且完全遵守所有適用規範。

他並指出，ASML 過去已多次駁斥有關中國出口管制合規問題的不實傳聞，相關說法不僅失實，也損害公司聲譽。

荷蘭外交部代表則表示，荷蘭充分理解自身在全球半導體產業中的特殊地位所伴隨的責任。荷蘭政府對 EUV 設備及相關出口項目執行極為嚴格的管制措施，並會在必要時採取干預行動。

目前尚不清楚究竟是什麼原因促使盧特尼克 對 EUV 設備提出質疑。據悉，相關議題是在一場涵蓋多項內容的會談中被提出，其中也包括 ASML 對美國投資承諾等議題。

盧特尼克 與 ASML 執行長 Christophe Fouquet 事後都曾公開形容雙方整體會談氣氛良好，但在各自發布於職場社群平台上的貼文中，均未提及 EUV 爭議。

然而，知情人士透露，ASML 私下已進入危機應對模式。

自今年 4 月與 盧特尼克 會面後，這家荷蘭企業即著手撰寫並在華府流傳一份名為《No indication of any ASML EUV System in China》（沒有任何跡象顯示中國存在 ASML EUV 系統）的文件，以回應美方質疑。

根據彭博檢視的文件內容，目前全球共有 314 台 EUV 設備正在運作，另有 26 台已退役，而中國境內則沒有任何一台 EUV 設備。

該簡報進一步指出，ASML 能夠對旗下所有 EUV 設備進行監控，若設備出現任何連線中斷、異常運作或失去連接等情況，系統都能自動偵測。

文件並強調，由於 EUV 設備涉及高度專業的搬運與安裝程序，客戶無法在未經 ASML 參與的情況下，自行拆卸、運輸或重新部署相關設備。因此，若有 EUV 機台被轉移至其他地點，ASML 理論上應能掌握相關情況。

這份文件顯然是為了反駁美方對中國可能持有 EUV 設備的質疑。ASML 試圖藉由設備數量統計、遠端監控能力，以及 EUV 系統極度複雜且難以移動的特性，證明中國境內不存在任何 ASML 製造的 EUV 微影機。

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