GAA

05-07雜誌

二奈米GAA熱處理難度高 概念股來幫

文．洪寶山隨著半導體製程邁入二奈米甚至更先進的埃米 (如 A16、A14) 時代，摩爾定律的推進已不再僅僅是縮小尺寸，而是面臨極致的物理與材料挑戰。二奈米的電晶體密度極度增加，單位面積內產生的熱量呈指數級成長，在物理機制上形成了一個致命的熱毯效應：每一層奈米片都被 High-K Metal Gate(HKMG) 介電層包覆，熱阻極高，熱量難以向下傳導至基板。