鍍膜

11-25鉅亨新視界

撰文／賴宛靖臺灣半導體產業有護國神山之稱，面對來自全球的頂尖對決，產業須持續創新研發，才能保持領先地位。工研院「高效雙模態原子層鍍膜系統」首創雙模態原子層鍍膜，透過腔體設計整合多道鍍膜製程，並提供可視化與模擬工具，提升半導體先進製程良率，獲 2023 年全球百大科技研發獎。