EUV製程帶動高階需求 2025年光阻劑市場將成長4倍

隨著各大晶圓廠加速引進 EUV 製程，研調 TECHCET 預估，金屬氧化物、乾式光阻等材料市場將大幅成長，預計 2025 年市場規模將從去年的 5000 萬美元，倍增 4 倍至 2 億美元。

TECHCET 表示，半導體先進製程競爭和 EUV 製程層數增加正在推動包括光阻劑材料市場成長。目前新型 EUV 光阻包括金屬氧化物、乾式光阻，與傳統相比，金屬氧化物光阻光吸收性更好，蝕刻更精準。

而乾式光阻比傳統光阻相比能顯著降低生產成本，能源消耗更少，且原料需求量比以往要少 5-10 倍。

目前全球光阻大廠也正通過合作、併購強化競爭力，龍頭廠日本 JSR 去年收購美國金屬氧化物光阻廠 Inpria 後，今年也開始和 SK 海力士合作開發，業內人士指出，目前三星電子正在引進 Inpria 金屬氧化物光阻劑。

光阻劑是半導體曝光中關鍵材料，目前 EUV 光阻主要供應商為信越化學、東京應用化學和 JSR，另外還包含住友化學、FUJI FILM 等。