台積電水管理新突破 年省新台幣1.02億元

台積電 (2330-TW)(TSM-US) 宣布，新研發的「氨氮廢水分流查核處理系統」在今年 6 月導入晶圓二十廠第 1 期廠區，有效降低外排廢水導電度 40%、化學藥劑減量 30%，預估年減碳 8,950 公噸、綠色效益達新台幣 1.02 億元，為廢水資源化管理樹立新標竿。

台積電呼應聯合國永續發展目標 (SDG) 第 6 項淨水與衛生，致力實踐水資源永續管理，為降低製程排放水的導電度及化學藥劑使用量，在去年創新研發「氨氮廢水分流查核處理系統」，透過「精準分流、查核管理、循環再生」3 階段流程，將低濃度廢水導入生物處理系統，讓氨氮做為微生物的氮源進行再利用；高濃度廢水則採用脫氣膜技術處理，將氨氮轉化為硫酸銨，落實資源再生。

台積電過去主要將機台排放的不同濃度氨氮廢水混合後統一處理，由於混合後的廢水濃度偏低，須先利用逆滲透技術提高氨氮濃度，再以脫氣膜技術強化去除效率。

然而，逆滲透流程需額外的化學藥劑與設備運作成本，為友善環境並減少藥劑使用，台積電濕式清洗製程與廠務團隊共同開創「氨氮廢水分流查核處理系統」。

第 1 階段，台積電透過分析製程機台的排水行為，制訂濃度梯度分流規則與建立資料庫，精準辨識不同濃度的氨氮廢水；第 2 階段則開發機台內聯管查核方法，完成晶圓二十廠第 1 期廠區約 1,000 台機台、共 5,887 個排水點的分流查核，並優化排水配置及軟體設定，確保不同類型的廢水安全輸送至適合的處理措施，優化管理效率。

經過前 2 階段的改良，無需經過逆滲透流程，氨氮廢水濃度已提升至原先的 2 倍，可有效降低藥劑用量、廢棄物產生並節約能源；進入第 3 階段，團隊進一步反覆測試，掌握氨氮濃度、水量、硫酸銨濃度、排放氨氮濃度之間的最佳比例，將不同濃度的氨氮廢水分流至生物處理系統與脫氣膜，再分別轉化為微生物營養源及硫酸銨，展現資源循環新價值。

開發防治技術是台積電推動水資源管理的重要策略，氨氮廢水分流查核處理系統已列入未來新建廠區標準設計，並逐步導入 7 奈米以下製程的晶圓廠，精進廢水處理效率。

同時，台積電積極探索低濃度含氟廢水轉化為高純度冰晶石的可行性，透過創新技術驅動資源循環，落實水管理的永續願景。