ASML南科設EUV全球技術培訓中心 在台研發人力3年內擴增近8成

荷蘭半導體設備製造商 ASML 在台南科學園區設立「EUV (極紫外光) 全球技術培訓中心」，總投資金額為 1350 萬歐元 (約新台幣 4.74 億元)，並將在台灣擴展研發團隊，3 年內將團隊人數由目前的 280 人、擴增至 500 人。

ASML 的 EUV 全球技術培訓中心座落於台南科學園區，占地 1625 平方公尺，配備實機模組，提供技術理論課程與無塵室實機操作課程等多元化培訓內容。該中心目前配置 14 位講師，估計每年可提供數千小時課程，為 ASML 與其客戶培育 360 位 EUV 技術工程師。

ASML 全球副總裁暨台灣區總經理陳文光表示，ASML EUV 全球技術培訓中心落成，將可為半導體產業提供更完整的服務。2010 年，ASML 提供第一台 EUV 微影設備原型機給台積電，進行研發工作，為全球微影技術開創新紀元；2017 年，交付第一台量產型 EUV 微影系統 TWINSCAN NXE:3400 給台積電，寫下商用 EUV 製程技術新里程。

陳文光並說，台灣目前 EUV 裝機規模已領先全球，ASML 在台南成立 EUV 全球技術培訓中心，不僅讓公司在台營運與服務項目更多樣化，更實現全力支援客戶先進製程開發與量產的承諾。

ASML 客戶支援全球執行副總裁 Wayne Allan 預期，亞洲 EUV 裝機量持續成長，因此將 EUV 全球技術培訓中心設置於亞洲，可讓客戶以最精省的成本和時間，培養所需的 EUV 工程師，以支援先進製程開發與量產。

ASML 指出，將新手工程師培育成為技術熟稔、可獨自作業的 EUV 工程師，需歷經 18 個月訓練。過去，全球 EUV 工程師都須前往荷蘭總部接受長達數月的培訓，隨著肺炎疫情為全球差旅工作增添許多限制與不確定性，台南 EUV 全球技術培訓中心將為台灣 ASML 與客戶，提供相對安全且經濟的培訓方式。

ASML 2003 年正式在新竹成立台灣總部辦公室，在林口、新竹、台中、台南設有客戶支援辦公室，並於林口和台南設工廠。其中，林口廠負責機台翻修、光罩傳輸模組生產與 YieldStar 光學量測設備生產，台南廠專注於電子束和多光束檢測設備製造。目前 ASML 在台員工約 2800 人。