天虹CPO設備出貨優預期 方形PLP設備年底前問世
鉅亨網記者魏志豪 台北
天虹 (6937-TW) 目前用於共封裝光學 (CPO) 的晶圓鍵合機 / 解鍵合機 (Bonder/ Debonder) 設備已出貨給客戶,進度優預期,並將研發資源重兵布局在面板級封裝 (PLP) 製程與 EUV 光罩膜檢測機台,預計年底前就會推出首款方形尺寸 310X310 毫米的製程設備,成為首批具量產技術的設備供應商。

天虹在 CPO、矽光子領域,隨著客戶逐步轉向自動化生產,對高精度設備如 Bonder/ Debonder 需求提升,不僅導入速度也比預期快,應用層面也比預期廣,同時,CPO 相關設備也正與晶圓大廠開發,並著重在物理氣相沉積 (PVD) 領域,現階段已有數個合作案。
另外,隨著圓轉方面板級封裝趨勢成形,封裝大廠早已投入多年,包括日月光、力成等,尺寸也各自不同,晶圓大廠更在今年拍板封裝尺寸訂在 310X310 毫米,並預計在今年設置首條實驗線,最快將在明年 6 月在嘉義 AP7 開始進量產設備,也帶動相關設備廠全力投入開發該尺寸設備。
天虹在 PLP 領域深耕多年,目前已瞄準兩大設備進行開發,包括物理氣相沉積 (PVD) 與電漿除殘膠 (Descum),隨著客戶拍板定案尺寸,公司也已進行設計並製造,預計今年 9 月就會在 SEMICON TAIWAN 亮相,緊跟客戶的量產節奏。
天虹近期完成併購映思,看好第二代 EUV 光罩膜檢測機台將於年底問世。其結合自家研發的 EUV 光源、機構設計與檢測技術,對標美系同業,朝量產型規格邁進,期望在明年開始貢獻營收,成為新一波成長動能。
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