〈台積社會責任〉節水控制系統明年全面導入國內12吋廠 目標年省38萬噸純水

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 繼領先業界打造晶圓清洗機台熱水循環系統後，進一步針對晶圓傳送盒清洗機台開發「節水控制系統」，並於第二季通過驗證，使機台節水 24%，預計明年全面導入國內 12 吋晶圓廠，目標每年將節省 38 萬噸純水及 1533 萬度電。

台積電表示，節水控制系統透過精準控制純水使用量，使機台節水 24%。截至今年 8 月，已成功導入晶圓十二 B 廠、晶圓十八 A 廠，預計明年全面導入國內 12 吋晶圓廠。

台積電指出，今年上半年全台水電供應嚴峻，因此積極尋找機台的節水省電機會點，發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉，透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定，於未運作期間仍需持續供水。

為提高用水效率，台積電智能工程中心、晶圓十二 B 廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數，共同研發漸進式開關的水閥，依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡，當機台未運作時，即以漸進方式減少供水，不僅有效省水，也能同時節電，預估每年可減少碳排放量約 7800 公噸，相當於 20 座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量。

「節水控制系統」已列為台積電新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施，為更擴大節能效益，台積電將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的「熱水回收循環系統」，預計第四季進行評估作業，持續朝機台節能最大化的目標努力。